SEMA specification에서 요구하는 조건에 준하여 까다로운 반도체 공정에 설치 시 공정 신뢰도를 극대화합니다.

반도체 공정을 위한 초고순도 가스 및 케미칼 라인에 요구되는 Acid Cleaning, Oil free, 표면조도, leakage rate 조건을 만족하여 고객의 시설 운영에 중요한 효율성,정밀한 흐름 제어 및 안전성을 완벽히 충족합니다.